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等離子蝕刻機(jī)廢氣是否有毒？_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻機(jī)廢氣是否有毒？
2020-05-09
master
2154
等離子蝕刻機(jī)廢氣真空腔體排出的廢氣是腐蝕性有毒氣體，需要通過抽風(fēng)管道排出室外；
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