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等離子蝕刻設備腔體是如何升溫的？_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設備腔體是如何升溫的？
2020-05-09
master
1921
等離子蝕刻設備腔體是通過電子和等離子對工件與腔體高速撞擊的電極發(fā)熱導致腔體升溫；
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