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等離子體中包含哪些成分_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子體中包含哪些成分
2020-05-09
master
1966
等離子體主要是通過氣體放電產(chǎn)生，其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質(zhì)。
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05-09
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